Handschuhbox für Solarzellen-Einzel- und Doppelstationsbetrieb mit Reinigungs- und Laminar-Flow-System

Produktübersicht

Dieses leistungsstarke Multi-Workstation-Handschuhbox-System integriert eine unabhängige Doppelstationseinheit und eine Einzelstationseinheit, die über speziell entwickelte große und kleine T-förmige Übergabekammern miteinander verbunden sind. Das Gerät wurde für die einseitige Bedienung konzipiert und bietet eine ununterbrochene, hermetisch abgedichtete Verarbeitungsumgebung, die durch eine Gasreinigungssäule im geschlossenen Kreislauf unterstützt wird. Durch die Aufrechterhaltung von Feuchtigkeits- und Sauerstoffkonzentrationen unter 0,1 ppm bei Standardbetriebsparametern liefert das System eine ultra-saubere Inertgasatmosphäre aus Stickstoff oder Argon, die für sensible Synthese- und Montageabläufe unerlässlich ist.

Speziell für die Fertigung von Solarzellen der nächsten Generation, Perowskit-Forschung, organische Photovoltaik (OPV), Dünnschichtabscheidung und Lithium-Batterie-Prototyping entwickelt, unterstützt die Workstation komplexe, mehrstufige Prozesse, ohne das Risiko einer atmosphärischen Kontamination. Das strukturelle Layout ermöglicht die Integration einer Vakuumabscheidungs- oder thermischen Verdampferschnittstelle direkt an der vertieften Seite der Kammer, was einen reibungslosen Substrattransfer zwischen Beschichtungs- und Montageschritten ohne Kontakt mit der Umgebungsluft ermöglicht.

Gefertigt aus starkem 304-Edelstahl mit präzisionsgefertigten Flansch-Sichtfenstern und automatisierter SPS-Überwachung, bietet diese Einheit außergewöhnliche Betriebsstabilität und extrem niedrige Leckraten. Die Integration einer hocheffizienten Partikelfiltration, einer dynamischen Kammerdruckregelung und einer integrierten Kühlung im geschlossenen Kreislauf gewährleistet Prozesskonsistenz bei anspruchsvoller, kontinuierlicher Forschung und industrieller Fertigung im Pilotmaßstab.

Hauptmerkmale

• Zweikammer-Verbindungsarchitektur: Verfügt über eine 1800-mm-Doppelstationskammer und eine 1220-mm-Einzelstationskammer, die über Hochvakuum-T-Übergabekammern verbunden sind, was einen bidirektionalen Substrattransfer und eine spezialisierte Zoneneinteilung für Beschichtung, Montage und Prüfung ermöglicht.
• Ultra-reine Gasreinigungseinheit: Das Ein-Säulen-Reinigungssystem, bestückt mit 5 kg Kupferkatalysator und 5 kg Molekularsieb, erreicht eine hohe Kapazität zur Entfernung von Verunreinigungen (60 L O2, 2 kg H2O) und hält die Basisverunreinigungen zuverlässig unter 0,1 ppm.
• Integrierte Verdampfersystem-Schnittstelle: Die linke Kammer verfügt über eine spezielle interne Vertiefung und eine dedizierte Vakuumschnittstelle, um standardmäßige thermische oder Dünnschicht-Beschichtungssysteme direkt am inerten Arbeitsplatz zu montieren.
• ISO 4 Downflow-Laminar-Filtration: Die oben montierte Reinraum-Filtereinheit verwendet H13- bis U15-HEPA/ULPA-Filter und ein einstellbares Gebläse (0,2 bis 0,45 m/s Anströmgeschwindigkeit), um staubfreie laminare Bedingungen gemäß US FED STD 209E Klasse 10 bei kontinuierlicher Differenzdrucküberwachung zu gewährleisten.
• Unabhängiges integriertes Kühlsystem: Eingebaute 1050-W-Kühleinheit im geschlossenen Kreislauf mit bodenstehendem Split-Rotationskompressor isoliert mechanische Vibrationen und reguliert die internen Handschuhbox-Temperaturen zwischen 15 °C und 36 °C mit einer Präzision von 1 °C.
• Hochpräzise Mehrfach-Schleusen: Beinhaltet eine automatisierte große T-Schleuse mit vertikalem Drei-Tür-Hebemechanismus, eine manuelle kleine T-Schleuse und eine externe Mini-Schleuse zur schnellen Materialeinführung ohne Kreuzkontamination der angeschlossenen Module.
• Intelligente Siemens SPS-Automatisierung: Die hochauflösende Touchscreen-Schnittstelle verwaltet automatisierte Regenerationszyklen, automatische Spülroutinen, Kammerdruckausgleich (±15 mbar Betriebsbereich, ±16 mbar automatischer Schutz) und Echtzeit-Datenprotokollierung.
• Online-Analytik: Ausgestattet mit einem hochempfindlichen Aluminiumoxid-Keramik-Dünnschicht-Feuchtigkeitssensor und einem elektrochemischen Sauerstoffanalysator mit 0,1 ppm Auflösung und programmierbaren Grenzwertalarmen im Bereich von 0 bis 1000 ppm.
• Lösungsmitteldampf-Adsorption: Ein schnell wechselbarer organischer Lösungsmitteldampffilter fängt gefährliche und flüchtige organische Verbindungen (VOCs) auf, die bei der Handhabung von Elektrolyten oder beim Spin-Coating entstehen, und schützt so die katalytischen Reinigungsbetten.
• Hermetische Bauweise und Ergonomie: Konstruiert aus 3 mm gebürstetem 304-Edelstahl, 8 mm gehärteten Sicherheitsglas-Sichtfenstern, einteilig gefrästen Dichtungsflanschen, Aluminium-Handschuhanschlüssen und hochwertigen 32-Zoll-Butylhandschuhen für ermüdungsfreies Arbeiten.

Anwendungen

Technische Spezifikationen

Warum dieses Produkt wählen?

• Durchdachte Workflow-Kontinuität: Die spezialisierte Kombination aus Doppel- und Einzelstationskammern, verbunden durch T-Schleusen mit mehreren Türen, ermöglicht eine klare Prozesstrennung – die Trennung von chemischer Vorbereitung, Lösungsmittelhandhabung und sensibler thermischer Beschichtung innerhalb einer einzigen kompakten Einheit.
• Kompromisslose atmosphärische Integrität: Hochwertige 3-mm-Edelstahlkonstruktion, präzisionsgefertigte O-Ring-Flansch-Sichtfenster und automatisierte Ventilverteiler liefern eine extrem niedrige Leckrate von ≤0,001 Vol.-%/h und garantieren Feuchtigkeits- und Sauerstoffbasiswerte unter 0,1 ppm, selbst bei kontinuierlichem Betrieb durch mehrere Benutzer.
• Integriertes Mikroklima und Sauberkeit: Im Gegensatz zu Standard-Handschuhboxen integriert dieses System ein ISO 4 Laminar-Downflow-System und eine 1050-W-vibrationsisolierte Kühleinheit, wodurch sowohl luftgetragene Partikeldefekte als auch thermische Konvektionsschwankungen während der sensiblen Substratverarbeitung verhindert werden.
• Direkte Kompatibilität mit Dünnschichtbeschichtern: Die werksseitig gefräste Vertiefung an der linken Seite und die standardisierte Vakuumflanschtechnik machen Drittanbieter-Modifikationen überflüssig und ermöglichen das direkte Andocken von thermischen Verdampfern und Magnetron-Sputter-Einheiten für einen nahtlosen Vakuumtransfer.
• Intelligente Diagnostik und Rückverfolgbarkeit: Die Siemens-gestützte automatisierte Regeneration, Gasspülungssteuerung, Echtzeit-Datenprotokollierung der Sensoren und programmierbare Grenzwertalarme gewährleisten volle Prozesswiederholbarkeit und mühelose Einhaltung akademischer und industrieller Qualitätsstandards.

Kontaktieren Sie unser technisches Ingenieurteam noch heute, um ein detailliertes Angebot anzufordern, kundenspezifische Kammerabmessungen zu besprechen oder integrierte Abscheidungsschnittstellen für Ihre Forschungseinrichtung zu konfigurieren.

Vertraut von Branchenführern